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2023年6月29日，全球最大规模半导体年度盛会SEMICON CHINA在上海新国际博览中心召开。至纯科技（603690）携湿法设备、工艺支持设备和整体解决方案重装亮相。

创新，点燃发展芯动力

集成电路产业是引领新一轮科技革命和产业变革的关键力量，至纯科技立足以客户为本，体系布局集成电路工艺设备，汇聚行业人才提升自主创新能力，实现关键工艺机台自主研发，并支持培育在地上游合作商以达供应链自主。目前，公司湿法设备已经实现28nm节点全部工艺的机台研制并取得订单，同时公司在更先进制程节点的机台开发进展顺利且获得部分工艺订单并交付中。公司的工艺气体、化学品、前驱体和研磨介质等工艺支持设备也在国内新建12寸FAB中以万台单位出货中，这些设备和工艺机台的腔体连成一个整体，实现各种干湿工艺。看着一座座FAB里布满PNC的设备，满满的自豪感。